設備特點(diǎn)及優(yōu)勢★高精度 :獨立工作平臺,各軸均可獨立二維光柵補償★高效率:三軸線(xiàn)馬驅動(dòng),無(wú)機械延遲,加速度與速度更高★探針式控深加工:頂部、底部多種加工模式,可以自定義探點(diǎn)計算方式★真空吸附腔體:分區域控制,內外腔負壓顯示及報警,吸附能力強,噪音小,兼容頂料功能。★全面領(lǐng)先的視覺(jué)系統,自動(dòng)調焦,三色光源,靶標形狀模板匹配,金手指定位優(yōu)化