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內、外層精細線(xiàn)路干膜曝光
INLINE LDI-E15

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設備特點(diǎn)及優(yōu)勢

★精細線(xiàn)路加工專(zhuān)門(mén)機型,最小解析能力可達15/15μm,滿(mǎn)足mSAP工藝需求

★搭配自主的超級算法的DMD控制系統,成就高解析度高效率加工

★曝光工序全數字化作業(yè),跨入工業(yè)4.0智能制造