設(shè)備特點及優(yōu)勢★高精度 :獨立工作平臺,各軸均可獨立二維光柵補償★高效率:三軸線馬驅(qū)動,無機械延遲,加速度與速度更高★探針式控深加工:頂部、底部多種加工模式,可以自定義探點計算方式★真空吸附腔體:分區(qū)域控制,內(nèi)外腔負(fù)壓顯示及報警,吸附能力強,噪音小,兼容頂料功能。★全面領(lǐng)先的視覺系統(tǒng),自動調(diào)焦,三色光源,靶標(biāo)形狀模板匹配,金手指定位優(yōu)化